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微导纳米获得实用新型专利授权：“一种硅片的承载舟、载具结构以及加工装置”
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科技
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知识产权服务中心
|
拓荒牛
2025-07-15
![](https://img2.tuohuangzu.com/uninf/images/202507/2025071516025380341.png"></p><p)
