证券之星消息,根据天眼查APP数据显示微导纳米(688147)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种硅片的承载舟、载具结构以及加工装置”,专利申请号为CN202422094888.1,授权日为2025年7月15日。
专利摘要:本实用新型提供了一种硅片的承载舟、载具结构以及加工装置,通过对硅片的承载舟的结构进行改进,从而提高硅片加工的良品率。承载舟能够放置于炉管内,炉管内流通有加工气体,所述硅片的承载舟包括两个端板和间隔组件,两个所述端板在第一方向间隔布设,所述间隔组件位于两个所述端板之间,并与所述端板之间限定有至少两个载片腔部,各所述载片腔部内均可容纳有若干硅片,位于同一所述载片腔部内的硅片沿所述第一方向依次排列;各所述载片腔部均设置有进气通道,所述进气通道的延伸方向与所述第一方向相垂直。通过采用本申请的技术方案,能够减小硅片所受压力,避免硅片发生损伤,提高硅片加工的良品率。
今年以来微导纳米新获得专利授权45个,较去年同期增加了36.36%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了2.67亿元,同比增50.78%。
通过天眼查大数据分析,江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目47次;财产线索方面有商标信息112条,专利信息516条,著作权信息20条;此外企业还拥有行政许可68个。
数据来源:天眼查APP
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