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曝中国秘密搞定第一台EUV光刻机! 逆向工程ASML
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企业数字化（企业CBD）
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拓荒牛
22小时前
曝中国秘密搞定第一台EUV光刻机! 逆向工程ASML
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商标服务中心
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拓荒牛
2025-12-19
![](https://img2.tuohuangzu.com/uninf/images/202512/2025122014360658172.png"></p><p>消息称，这一euv光刻机原型是2025年初在深圳一处安保严密的设施内组装完成的，几乎覆盖了整个厂房。</p><p><span><strong>它没有采用清华大学研发的基于粒子加速器的稳态微聚束(ssmb)技术，也没有使用哈尔滨工业大学开发的放电等离子体(dpp)技术，而是和asml)
![](https://img2.tuohuangzu.com/uninf/images/202512/2025121923095655423.png"></p><p>消息称，这一euv光刻机原型是2025年初在深圳一处安保严密的设施内组装完成的，几乎覆盖了整个厂房。</p><p><span><strong>它没有采用清华大学研发的基于粒子加速器的稳态微聚束(ssmb)技术，也没有使用哈尔滨工业大学开发的放电等离子体(dpp)技术，而是和asml)
