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超越日本！我国第一台纳米压印光刻机交付：线宽小于10nm
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中关村国际人才会客厅
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拓荒牛
2025-08-10
![](https://img2.tuohuangzu.com/uninf/images/202508/2025081012030431546.png"></p><p>据悉，<strong>璞璘科技的pl-sr系列喷墨步进式纳米压印设备攻克了步进硬板的非真空完全贴合、喷胶与薄胶压印、压印胶残余层控制等关键技术难题，可对应线宽小于10nm的纳米压印光刻工艺。</strong></p><p>它还配备自主研发的模板面型控制系统、纳米压印光刻胶喷墨算法系统、喷墨打印材料匹配，搭配自主开发的软件控制系统。</p><p><img)
