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光刻机拆解传闻：逆向工程思维应休矣，自主创新需夯实
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数字乡村-村CBD、村BD
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拓荒牛
23小时前
![](https://img2.tuohuangzu.com/uninf/images/202510/2025103110344625034.png"></p><p>asml全球供应商体系，来源：asml官网、电子产品世界、华金证券研究所</p><p>其中核心光学模块由蔡司（zeiss）独家提供，镜片加工精度达到亚纳米级，任何一次镀膜厚度波动都可能导致系统退化，至于它的对准系统、双工作台、控制算法与曝光同步机制之间的微秒级闭环控制，更是靠上百项嵌入式专利实现。这意味着，即使完全拆解出duv的所有零件，仍不可能重建那种“系统级协同”。正如华金证券《光刻机深度报告》中所言：高端光学元件的超精密制造与装调技术，是当前高端装备制造业最大短板。</p><p><img)
