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中微公司获得发明专利授权：“防止电弧放电的下电极组件、等离子体处理装置及方法”
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科技
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社保公积金服务中心
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拓荒牛
2025-08-16
![](https://img2.tuohuangzu.com/uninf/images/202508/2025081619033865461.png"></p><p)
