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一厘米的小镜子，如何驾驭卫星间的“光速对话”？
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企业第二办公区-企业CBD
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拓荒牛
2025-08-12
![](https://img2.tuohuangzu.com/uninf/images/202508/2025081219024708866.png"></div><p>封装后的mems快反镜样品</p><p>（图片来源：参考文献[4])</p><h1>mems——迷你精巧的机械</h1><p>说到机械，大家一般首先会想起那种布满了金属器件的与各类管道的机器，比如汽车的发动机、蒸汽时代的火车头。而mems则要小巧很多。</p><p>如果你此刻正用手机阅读这篇文章，那么你掌心的手机中便含有好几个mems器件。现代的手机具备计步功能，能记录我们每天的运动情况，这依赖于手机中的mems加速度计（一种用于测量物体加速度、振动、倾斜或运动状态的传感器），它能感知手机的运动速度。而手机的指南针功能，内部并没有一碗水加个小铁片那种传统结构，而是有一个mems陀螺仪器件，能够感知手机的方位。</p><p>mems是使用半导体工艺制成的，一般mems器件大小只有几十到几百微米。例如微型的锁止结构，半导体工艺能够制作微小的结构，利用该工艺制作的机械结构非常精细，常规的加工方法无法加工这么小的齿轮。在制造存储数据所用的内存芯片的同时，加工一个锁止机构，只有输入特定的电信号，锁止机构才能被打开，保护芯片中的数据安全。</p><div><img)
